第85章 沉浸式光刻机技术成功(1/1)

首发：~第85章 沉浸式光刻机技术成功

随着这些外国专家离开大夏回国后不久。

国际“巴黎统筹委员会”便宣布：取消对大夏出口投影光刻机的禁运令。

米国和小日子这两个当时世界上主要生产“分步投影光刻机”的国家随后宣布。

取消对大夏的出口禁令，可以向大夏出口这类投影光刻机，而且价格还非常优惠。

随着这个政策的宣布，两国还祭出了一个颇具诱惑力的法宝——“凡购买他们国家公司光刻机的大夏企业，欢迎其公司领导来到它们公司参观访问旅游，来回的机票、酒店住宿和所有的旅行费用，全部由这些人的公司承担”。

此时，国门刚刚打开不久，外面的世界很精彩，对大夏企业的负责人很有吸引力，都想找个机会出国去看一看，玩一玩，开开眼界，当然还有一些灰色的原因。

于是——

原先准备购买大夏本土投影光刻机的许多单位纷纷改变主意，说不要了。

甚至就连原来和五道口大学有长期合作关系的大夏科学院半导体所109厂及京师、魔都、无锡等地的其他单位，都纷纷取消了订单。

自从大夏自己研发制造的新型自动光刻机没有了市场，也就失去了生存空间。

徐端仪团队耗费无数心血研制成功的自动光刻机——这一生产加工芯片的重要关键设备。

就此夭折。

多年来的努力和无尽心血，全部付诸东流。

而这位主持研制出大夏第一台光刻机的科学家，至此便不再研究光刻机。

无奈之下的他告别了光刻机研发领域，将目光转向国际上方兴未艾的光盘研究。

而最最搞笑的就是，当初他是曹鹏云以帮自己弄vcd盗版光盘这件事，把他请过来帮忙的。

过来之后，曹鹏云才发现自己不知道有多眼瞎，才把王者当成了青铜。

之后在曹鹏云的保证下一定要让他一雪前耻，徐端仪这个大牛选择留了下来帮曹鹏云的忙。

当然对曹鹏云这话，徐端仪也相信，毕竟，曹鹏云对他们这些研究人员是真的尊重。

给的钱也是多，现在给他和苗建木两人的工资都已经涨到了一万一个月。

苗建木和徐端仪两人对视一眼，之后苗建木把开口的机会让给了徐端仪。

“曹厂长，你让我们弄的沉浸式光刻机，弄出来了。”

“什么？这么快？”曹鹏云吃了一惊。

徐端仪笑了笑：“也不是很难的东西。”

曹鹏云砸了砸舌，他能怎么说？

这位大佬可是当初在什么都不知道的情况下做出光刻机的猛人，现在知道曹鹏云所说的原理，那么他做出来压根没有任何的问题。

更何况90年代时代的光刻机，门槛其实并不高，三十多人的asml能轻易入局这个行业，连设计芯片的英特尔也可以自己做出几台尝尝鲜，反而难度最高的是把买回来的高价零件拼拼凑凑，堆出一台难度比起照相机高深些许的设备，而这个外人眼中的难度在徐端仪这些人眼中却是件简单的不能再简单的事。

说起这个沉浸式光刻机，也是曹鹏云能想到的最容易卡死光刻机技术的一项技术。

因为它相对简单，只是用纯水或者纯油之类的就行。

可也就是这个技术，也是asml崛起与尼康衰落的分界点。

在1999年的时候。

光刻机的光源波长被卡死在193nm，成为了摆在全产业面前的一道难关。

大半个半导体业界都参与进来，大家都想着各种法子突破。

尼康等公司主张用前代技术的基础上，采用157nm的f2激光，走稳健道路。

新生的euv llc联盟则押注更激进的极紫外技术，用仅有十几纳米的极紫外光，刻十纳米以下的芯片制程。

但技术都已经走到这地步，不管哪一种方法，做起来其实都不容易。

这时候湾积电出现了一个叫做木本坚的工程师。

他想到水会影响光的折射率，提出在透镜和硅片之间加一层水，让原有的193nm激光经过折射，直接越过157nm的天堑，降低到132nm。

不过很可惜,当年的木本坚拿着这项“沉浸式光刻”方案，跑遍米国、得国、小日子等国，游说各家半导体巨头，但都吃了闭门羹。

甚至有一些半导体公司高层还给湾积电ceo捎了句狠话，让他管好木本坚不要让他跳出来搅局。

毕竟木本坚说的这个方案只是理想情况，在精密的机器中加水构建浸润环境，既要考虑实际性能，又要操心污染。

如果为了这一条短期替代方案，耽误了光源研究，吃力不讨好只是其次，被对手反超可就不好看了。

于是，尼康继续选择了在干式微影157nm这一条道上走到黑。

可他却没发现自己背后有位虎视眈眈的搅局者。

当时只是一个非常小的小角色asml决定赌一把。

也许当时他们想着反正，自己公司也就那样了，和那几家大公司再差也差不到哪去。

而且相比在传统干式微影上的投入和那些大公司拼刺刀，还不如押注浸润式技术这种可能以小博大的技术。

于是asml和木本坚一拍即合，仅用一年时间。

在2004年就拼全力赶出了第一台样机，并先后夺下ibm和湾积电等大客户的订单。

而尼康晚了半步，很快亮出了干式微影157nm技术的成品。

可惜被asml抢了头阵，更何况波长还略落后于对手，asml是132nm，而他是157nm。

等到一年后尼康完成了对浸润式技术的追赶，客户却已经被asml全带跑了。

从此，尼康开始没落。

想到这里，曹鹏云感觉自己语气都有些颤抖：“能做到多少nm？”

这边的徐端仪同样激动：“理论上是可以达到曹厂长你说的132nm，可你也知道，我们在精密机械方面并不是非常过关，所以大概在250nm左右。”